测试（shì）功能：

纳米压痕

纳米冲（chōng）击和（hé）疲劳（láo）测试（shì）

纳米划痕与磨损

Nano-fretting纳米微震磨损

成像和（hé）纳（nà）米（mǐ）定位

测试环境：

高温与低温环境

液体和湿度环境

气氛环境和真（zhēn）空环境

1. 高刚度测（cè）试（shì）平（píng）台

1.1. 环（huán）境与震动隔（gé）离系统（tǒng）:

1.1.1. 多层声衰减（jiǎn）环境（jìng）屏蔽柜隔离噪音与（yǔ）气流干扰（rǎo），主动悬浮平台隔（gé）离（lí）环境震动干扰

1.1.2. 隔离系统提（tí）供六自由度平台

1.2. 环境屏蔽柜内提供（gòng）主动温度控制系（xì）统，使（shǐ）屏蔽罩内部温度达到恒（héng）定状态

1.3. 系统（tǒng）配备不（bú）间断电源（UPS)

1.4. 高分辨率彩色四物镜光学显微镜系（xì）统自动切换: (5x, 10x, 20x ,40x)

2. 测试平台载荷范围

2.1. 载荷参数:

2.1.1. 纳（nà）米（mǐ）载荷范（fàn）围: 10 μN – 500 mN

2.1.2. 微米（mǐ）载荷范围: 300 mN– 30 N

2.1.3. 热漂（piāo）移： 0 . 004 nm/s 或更好

3. 纳米压痕

4. 微米压痕

5. 划痕与磨损模（mó）块：划痕与（yǔ）磨损可实现单次与多次往复摩（mó）擦磨损试验

应用范（fàn）围
NanoTest Vantage可以（yǐ）广（guǎng）泛应用（yòng）于：航空航天、汽（qì）车工（gōng）业、半导体、生物医学、

MEMS、高（gāo）分子、薄膜和涂层（céng），以及太阳能（néng）/燃料电（diàn）池（chí）等。